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GPM-3802
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GPM-3802自動精密研磨拋光機是覆蓋半導(dǎo)體材料,光電材料等應(yīng)用領(lǐng)域的精密磨拋機。主要用于 硅、碳化硅、氮化鎵、銻化鎵、磷化銦、砷化鎵、碲鋅鎘、碲鎘汞、鈮酸鋰等多種材料芯片的研磨減薄,底面、表面、端面的化學(xué)機械拋光等。本機體積小,節(jié)省實驗室空間,操作簡單,清理方便,適合初學(xué)人員的使用,尤其適用于各大高校的實驗室、科研院所、及各企業(yè)的實驗室的使用。
l研磨拋光機獨立可移動式觸觸摸操控系統(tǒng);
l可實現(xiàn)晶片端面磨拋及特殊角度制備(需定制);
l可存儲工藝菜單;
l可選配多機聯(lián)控選配功能;
l可選配增至3通道進料系統(tǒng);
l適用于8英寸及以下尺寸樣片;
安裝條件 |
本設(shè)備要求在海拔2000m以下,溫度25℃±15℃,濕度35%~95%下使用。 1、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地。 2、氣:需要 4、工作臺:承重100KG 5、通風(fēng)裝置:不需要 |
主要參數(shù) |
1、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-150轉(zhuǎn)/分鐘 2、磨拋盤直徑:380mm 3、擺臂頻率0-35RPM速度可調(diào)節(jié) 4、擺臂角度0-25度可調(diào) 5、擺臂數(shù)量:3工位 6、試樣裝夾數(shù)量:3套 7、試樣規(guī)格:單個φ110mm(其他規(guī)格定制) 8、磨樣時間:0-999min 9、加壓方式:配重加壓 10、載樣盤重量:3KG 11、存儲工藝菜單:60條 12、耗材安裝方式:背膠粘接 13、外形尺寸:≈550mm×600mm×750mm(長×寬×高) 14、主機重量:100Kg |
序號 |
名稱 |
數(shù)量 |
圖片鏈接 |
1 |
拋光墊 合成革/磨砂革/聚氨酯 |
各1張 |
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2 |
載樣盤 |
3套 |
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3 |
鑄鐵研磨盤 |
1個 |
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4 |
鋁制拋光盤 |
1個 |
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5 |
進水管 |
1根 |
已安裝 |
6 |
排水管 |
1根 |
已安裝 |
序號 |
名稱 |
功能類別 |
圖片鏈接 |
1 |
自動滴液器 |
(可選) |
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2 |
金相試樣電解拋光腐蝕儀 |
(可選) |
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3 |
手動夾持工裝(用于異形件固定) |
(可選) |
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4 |
金剛石懸浮拋光液 |
(可選) |
- |
5 |
氧化鋁懸浮拋光液 |
(可選) |
- |
6 |
氧化鈰懸浮拋光液 |
(可選) |
- |
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